德國Phytron步進電機

　　Phytron步進電機是德國Phytron公司生產的高性能、高精度步進電機，具有多種型號和特性，適用于各種需要精確控制和定位的場合。

　　一、技術特點

　　高精度：Phytron步進電機采用精密加工和超精密磨削技術，步進角誤差小，可實現高精度的定位和運動控制。例如，VSH-80步進電機的步距角為1.8°，分辨率高達6000步/轉。

　　高轉矩：Phytron步進電機具有較大的輸出力矩，能夠滿足各種高負載應用的需求。例如，ESS電機最大力矩為3.5Nm，ESH電機大力矩為7Nm。

　　高速：Phytron步進電機具有較高的啟動和運行速度，能夠在短時間內實現精確的定位和控制。例如，ESS電機大轉速為3000轉/分鐘，ESH電機大轉速為1500轉/分鐘。

　　長壽命：采用優質材料和精密制造工藝，確保了電機的長壽命和可靠性。

　　易于控制：Phytron步進電機可采用開環或閉環控制方式，方便用戶根據實際需求進行選擇。同時，電機驅動器可接收脈沖信號或模擬信號輸入，實現電機的速度和位置控制。

　　良好的兼容性：Phytron步進電機的驅動器和控制器可與多種主流品牌的PLC和運動控制器兼容，方便用戶進行集成和控制。

　　二、產品系列與型號

　　Phytron步進電機擁有多個系列和型號，以滿足不同用戶的需求。以下是一些常見的系列和型號：

　　ESS/ESH系列：高性能、高品質的步進電機產品，適用于各種需要精確控制和定位的場合。ESS電機步進角為7.5°，ESH電機步進角為15°。

　　VSHE-FV-8L系列：采用雙極性連接，額定電壓為230V，額定電流為39A。步進角為1.8°，可通過微步進技術實現更高的分辨率。

　　ZSH87/1系列：永磁式步進電機，采用高性能的釹鐵硼磁鋼和優質硅鋼片，具有高扭矩、高精度、低慣量和低噪音等優點。

　　PhySPACE25系列：體積小、重量輕，便于在空間有限的場合安裝和使用。同時，它還具有高精度、高扭矩和低噪音等特點。

　　ZSS/ZSH系列：兩相混合式步進電機，支持單極、雙極控制，保持力矩從3.8-700mNm，法蘭尺寸從19-56mm。

　　半導體制造：真空/潔凈環境下的納米級定位

　　Phytron真空系列電機（VSS/VSH）適配10??mbar超高真空與Class1潔凈室，是晶圓處理、光刻、蒸鍍/刻蝕的核心驅動部件。

　　關鍵應用：晶圓載臺對準（±0.1μm/s平移，納米級定位）、光刻物鏡校準、真空蒸鍍靶材平移（±1μm精度）、刻蝕腔室樣品臺驅動、CVD/PVD設備的晶圓搬運。

　　核心型號：VSS系列（真空兼容）、Lithotec®配套驅動電機（與光刻機同源材料適配）。

　　技術價值：耐-196℃~+125℃寬溫，無油潤滑適配高潔凈，保障5nm及以下制程良品率。

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